非接觸厚度、三維微納形貌一體測量
集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組，使用一臺機(jī)器便可 完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三維形貌的測量。
高精度厚度測量技術(shù)
采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對WAFER進(jìn)行高效掃描，搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤，晶圓規(guī)格最大可支持至12寸，采用MAPPING跟隨技術(shù)，可編程包含多點(diǎn)、線、面的自動(dòng)測量。
高精度三維形貌測量技術(shù)
采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法，Z向分辨率最高可到0.1NM;獨(dú)特隔振設(shè)計(jì)，極大降低地面振動(dòng)和空氣聲波振動(dòng)噪聲，獲得極高的測量重復(fù)性。
